程序升温氧化(TPO)是在程序升温过程中催化剂外表沉积物(或吸附物等)产生的氧化反应。测试装置与TPD装置相同。化学吸附仪供应商催化剂在使用过程中，活性逐渐下降，其中原因之一是催化剂外表有积炭出产，程序升温氧化法TPO是研究催化剂积炭生成机理的有用手法。
碱性(酸性)气体在酸性（碱性）中心上吸附时，吸附在强酸（强碱）中心上的比吸附在弱酸（弱碱）中心上的安稳，化学吸附仪供应商也更难脱附，提高温度可令其从酸性（碱性）中心上脱附，而那些在弱酸（弱碱）中心上的将首先脱附，因此测定在不同温度下脱附的吸附碱（酸）相对量可测定酸（碱）中心强度，而脱附的碱性（酸性）气体的量也就对应其酸量（碱量）。
